長野県精密加工技術研究会 平成12年度 技術講習会
平成13年3月16日実施

超精密複合マイクロ加工

講師: ファナック(株) 河 合 知 彦 氏

と こ ろ    長 野 県 精 密 工 業 試 験 場
主 催    長 野 県 精 密 加 工 技 術 研 究 会


1 講演内容

 超精密マイクロ加工には、半導体製造技術を応用したフォトリソグラフィーなどの方法の他に機械加工による方法があり、それを実現する超精密複合マイクロ加工機FANUC ROBOnanoUiが、世界に先駆けて精密工業試験場に導入されています。
 このROBOnanoUiは、ナノメートルオーダという驚異的な位置分解能を持つ同時5軸の複合加工機です。切削や研削を始めとする機械加工により、さまざまな溝加工や自由曲面加工を、金属を始めガラス・シリコンなど様々な材料に行うことが出来ます。これにより、これまで製作不可能だった特殊な光学部品やマイクロ製品金型などが製作できるようになるものと期待されています。
 そこで今回は、このROBOnanoUiによる超精密複合マイクロ加工についての講習会を企画いたしました。講師にファナック鰍謔濶ヘ合様をお迎えし、ROBOnanoUi の概要と特徴、そして具体的な様々な加工事例等についてご講演いただきます。
 また、併せてROBOnanoUiの見学を行います。この機会に是非ご聴講下さいますようご案内申し上げます。

(受講のおすすめ、より)

 

2 内容及び講師

時 間
テーマ、内容
講 師
13:30〜15:30
講演:「超精密複合マイクロ加工」
 ・超精密マイクロ加工の現状
 ・超精密複合マイクロ加工機ROBOnanoUiの概要と特長
 ・ROBOnanoUiによる様々な加工事例
など

 

見学: 精密工業試験場に導入されたROBOnanoUi


ファナック(株)
基礎技術研究所
河合研究室長
河 合 知 彦 氏

 

 

3 講演会の模様

 


ロボナノの見学。設置された部屋に一度に入りきらないので、2組に分かれて入室いただいた。


熱心に見入る参加者。ロボナノ本体は人垣に隠れてこのアングルでは見えない。

4 試験場に設置されたROBOnano

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(2001.4/25)
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